Le capteur de front d'onde UV BOJIONG 200-450 nm intègre une technologie brevetée de diffraction à quatre ondes à codage aléatoire avec une caméra ultraviolette pour effectuer des interférences au niveau du plan d'image arrière, nécessitant une faible cohérence de la source lumineuse et éliminant le besoin de déphasage. Utilisant le système d’imagerie ultraviolette, ce capteur permet une mesure du front d’onde en temps réel avec une résistance aux vibrations et une stabilité exceptionnelles, atteignant une précision de l’ordre du nanomètre sans avoir besoin d’isolation des vibrations.
Nom du produit |
Capteur de front d'onde UV 200-450 nm |
Plage de longueurs d'onde |
200 nm ~ 450 nm |
Taille cible |
13,3 mm × 13,3 mm |
Résolution spatiale |
26μm |
Résolution d'échantillonnage |
512 × 512 (262 144 pixels) |
Résolution de phase |
<2nmRMS |
Précision absolue |
10 nmRMS |
Plage dynamique |
90 μm (256 min) |
Taux d'échantillonnage |
32 images par seconde |
Vitesse de traitement en temps réel |
10 Hz (pleine résolution) |
Type d'interface |
USB3.0 |
Dimension |
70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm |
Poids |
environ 240g |
◆ Spectre UV bande 200 nm ~ 450 nm
◆Ultra haute résolution de 512 × 512 (262 144) points de phase
◆ Auto-interférence lumineuse à canal unique, aucune lumière de référence requise
◆ Résolution de phase élevée de 2 nm RMS
◆ Performances anti-vibrations extrêmement fortes, pas besoin d'isolation optique des vibrations
◆Tout comme l'imagerie, construction de chemin optique simple et rapide
◆Prend en charge les faisceaux collimatés et les faisceaux non collimatés à NA élevée
Ce capteur interférométrique à quatre ondes ultraviolettes BOJIONG est utilisé pour la mesure de l'aberration du système optique, l'étalonnage du système optique, la mesure de la forme de la surface plate (plaquette), la mesure de la forme de la surface sphérique optique, etc.
Détection du front d'onde du faisceau laser |
Réponse de détection du front d'onde du mode Zernike de l'optique adaptative |
Exemple de mesure d'aberration d'un système optique |
Exemples de mesures d'étalonnage de systèmes optiques |
Exemple de mesure de rugosité de surface de plaquette |
Mesure de morphologie par micro gravure - échantillon de défaut 1 # -114 lignes |
Le capteur de front d'onde UV BOJIONG 200-450 nm, développé par une équipe de professeurs de l'Université du Zhejiang et de l'Université technologique de Nanyang à Singapour, utilise une technologie nationale brevetée qui combine la diffraction et l'interférence pour obtenir une interférence de cisaillement transversal à quatre ondes. Ce capteur offre une excellente sensibilité de détection et des performances anti-vibrations, permettant une interférométrie dynamique en temps réel et à grande vitesse sans avoir besoin d'isolation vibratoire, avec une fréquence d'images de plus de 10 images par seconde. Le capteur FIS4 offre une résolution de phase ultra-élevée de 512 × 512 (260 000 points de phase), avec une plage de mesure allant de 200 nm à 15 μm, une sensibilité de mesure de 2 nm et une répétabilité de mesure meilleure que 1/1000λ (RMS). Il s'applique à l'analyse de la qualité du faisceau laser, à la détection du champ d'écoulement plasmatique, à la mesure en temps réel de la distribution du champ d'écoulement à grande vitesse, à l'évaluation de la qualité d'image des systèmes optiques, à la mesure de profil microscopique et à l'imagerie de phase quantitative de cellules biologiques.
Adresse
No. 578 Yingkou Road, district de Yangpu, Shanghai, Chine
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