Cet analyseur de front d'onde ultraviolet, doté d'une résolution de 512 × 512 pixels (262 144 points de phase), est capable d'effectuer des mesures d'interférence au niveau du plan focal arrière. La technologie nécessite un faible niveau de cohérence de la part de la source lumineuse et élimine le besoin de déphasage. Grâce au système d’imagerie ultraviolette, l’appareil peut réaliser une mesure du front d’onde en temps réel. Il présente une résistance aux vibrations et une stabilité exceptionnelles, permettant une précision de mesure au niveau nanométrique sans avoir besoin d'installations d'isolation des vibrations.
Nom du produit |
Analyseur de front d'onde ultraviolet |
Gamme de longueurs d'onde |
200 nm ~ 450 nm |
Taille cible |
13,3 mm × 13,3 mm |
Résolution spatiale |
26μm |
Résolution d'échantillonnage |
512 × 512 (262 144 pixels) |
Résolution de phase |
<2nmRMS |
Précision absolue |
10 nmRMS |
Plage dynamique |
90 μm (256 min) |
Taux d'échantillonnage |
32 images par seconde |
Vitesse de traitement en temps réel |
10 Hz (pleine résolution) |
Type d'interface |
USB3.0 |
Dimension |
70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm |
Poids |
environ 240g |
◆ Résolution de phase élevée de 2 nm RMS
◆ Spectre UV bande 200 nm ~ 450 nm
◆Ultra haute résolution de 512 × 512 (262 144) points de phase
◆ Auto-interférence lumineuse à canal unique, aucune lumière de référence requise
◆ Performances anti-vibrations extrêmement fortes, pas besoin d'isolation optique des vibrations
◆Tout comme l'imagerie, construction de chemin optique simple et rapide
◆Prend en charge les faisceaux collimatés et les faisceaux non collimatés à NA élevée
Cet analyseur de front d'onde ultraviolet BOJIONG est utilisé pour la mesure de l'aberration du système optique, l'étalonnage du système optique, la mesure de la forme de la surface plate (plaquette), la mesure de la forme de la surface sphérique optique, etc.
Détection du front d'onde du faisceau laser |
Réponse de détection du front d'onde du mode Zernike de l'optique adaptative |
Exemple de mesure d'aberration d'un système optique |
Exemples de mesures d'étalonnage de systèmes optiques |
Exemple de mesure de rugosité de surface de plaquette |
Mesure de morphologie par micro gravure - échantillon de défaut 1 # -114 lignes |
Analyseur de front d'onde ultraviolet BOJIONG développé par une équipe de professeurs de l'Université du Zhejiang et de l'Université technologique de Nanyang de Singapour, avec une technologie nationale brevetée, il combine la diffraction et l'interférence pour obtenir une interférence de cisaillement transversal à quatre ondes commune, avec une sensibilité de détection et des performances anti-vibration supérieures. , et peut réaliser une interférométrie dynamique en temps réel et à grande vitesse sans isolation vibratoire. La mesure en temps réel montre une fréquence d'images de plus de 10 images. Dans le même temps, le capteur FIS4 a une résolution de phase ultra-élevée de 512 × 512 (260 000 points de phase), la bande de mesure couvre 200 nm ~ 15 μm, la sensibilité de mesure atteint 2 nm et la répétabilité de mesure est meilleure que 1/1000λ ( RMS). Il peut être utilisé pour l'analyse de la qualité du faisceau laser, la détection du champ d'écoulement plasma, la mesure en temps réel de la distribution du champ d'écoulement à grande vitesse, l'évaluation de la qualité de l'image du système optique, la mesure du profil microscopique et l'imagerie de phase quantitative des cellules biologiques.
FIS4 Paramètres techniques de chaque série de produits |
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Produit |
FIS4-UV |
FIS4-RH |
HORLOGE FIS4 |
FIS4-HS |
Cellule FIS4 |
FIS4-NIR |
Gamme de longueurs d'onde |
200 ~ 450 nm |
400 ~ 1100 nm |
400 ~ 1100 nm |
400 ~ 1100 nm |
400 ~ 1100 nm |
900 ~ 1200 nm |
Taille cible mm² |
13,3 × 13,3 |
7,07 × 7,07 |
13,3 × 13,3 |
10,24 × 10,24 |
7,07 × 7,07 |
13,3 × 13,3 |
Résolution spatiale |
26μm |
23,6 μm |
26μm |
24,4 μm |
23,6 μm |
26μm |
Pixels de l'image |
- |
2048×2048 |
- |
- |
2048×2048 |
- |
Résolution de sortie de phase |
512×512 (262144 pixels) |
300 × 300 (90 000 pixels) |
512 × 512 (262 144 pixels) |
420 × 420 (176 400 pixels) |
300 × 300 (90 000 pixels) |
512 × 512 (262 144 pixels) |
Résolution de phase |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
Précision absolue |
10 nmRMS |
10 nmRMS |
15nmRMS |
10 nmRMS |
10 nmRMS |
15nmRMS |
Plage dynamique |
90 μm (256min) |
110 μm (150min) |
162 μm (256min) |
132μm (210min) |
110 μm (150min) |
270 μm (256min) |
Taux d'échantillonnage |
32 images par seconde |
24 images par seconde |
45 images par seconde |
107 images par seconde |
24 images par seconde |
45 images par seconde |
Vitesse de traitement en temps réel |
10Hz (Pleine résolution) |
10Hz (Pleine résolution) |
10Hz (Pleine résolution) |
10Hz (Pleine résolution) Prend en charge le traitement par lots retardé |
10Hz (Pleine résolution) |
10Hz (Pleine résolution) |
Type d'interface |
USB3.0 |
HACHER |
USB3.0 |
HACHER |
HACHER |
USB3.0 |
Interface externe |
- |
- |
- |
- |
Port C |
- |
Taille mm² |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
poids |
environ240g |
environ120g |
environ240g |
environ120g |
environ120g |
environ240g |
Adresse
No. 578 Yingkou Road, district de Yangpu, Shanghai, Chine
Tél