Interféromètre dynamique plan vertical

L'interféromètre dynamique planaire vertical, qui peut être utilisé dans un environnement d'usine standard, est capable de mesurer avec précision la forme de la surface des éléments optiques planaires dans une ouverture de 100 mm. Le faisceau transportant les informations sur la forme de la surface de l'élément mesuré est diffracté à travers un réseau spécialement codé, qui divise latéralement le front d'onde en quatre parties, formant ainsi un motif d'interférence bidimensionnel de cisaillement à chemin commun avec quatre fronts d'onde. En démodulant l'interférence bidimensionnelle, les informations sur la forme de la surface de l'élément peuvent être obtenues.

Spécification de l'article :

Caractéristique de l'interféromètre dynamique plan vertical BOJIONG

◆Jusqu'à 15 images de mesure dynamique en temps réel

◆Super haute résolution de 262 144 points de phase

◆ Résolution de phase élevée RMS 2 nm

◆Basé sur le principe de l'auto-interférence du canal commun, l'équipement n'a pas besoin d'un miroir de référence et possède une forte capacité d'interférence de résistance. Dans l'environnement d'usine ordinaire, il peut également permettre une détection précise des surfaces planes.

◆Peut réaliser une détection dynamique en temps réel, peut atteindre une détection dynamique de 15 images/seconde

◆Avec des droits de propriété intellectuelle indépendants, un ajustement rentable et simple, une structure compacte

 Application de l'interféromètre dynamique plan vertical BOJIONG

Cet interféromètre dynamique planaire vertical BOJIONG est équipé de capteurs interférométriques à quatre ondes FIS4 pour détecter la forme du miroir plan standard, et le logiciel de traitement génère la valeur PV, la valeur RMS et la valeur PUISSANCE de la surface du composant testé.

Détails de l'interféromètre dynamique plan vertical BOJIONG

Schéma de présentation général de l'interféromètre dynamique planaire à quatre ondes BOJIONG

Les modules fonctionnels de l'interféromètre dynamique planaire vertical BOJION G peuvent être divisés en un module de source de lumière d'éclairage, un module d'expansion de faisceau secondaire, un module porteur, un module de focalisation ponctuelle pour aider à l'ajustement de l'attitude de l'échantillon et un module de capteur interférométrique pour la forme de la surface de l'échantillon. détection.

Le module source de lumière du système adopte un laser gaz-hélium-néon avec une longueur d'onde centrale de 632,8 nm.

Le module d'expansion du faisceau secondaire étend la taille du faisceau à 100 mm, répondant ainsi aux exigences de détection de grand diamètre.

La section de scène est utilisée pour placer les composants optiques plans à tester, tels que les cristaux plats, les plaquettes à jet unique, les puces de fenêtre, les réflecteurs planaires, etc. La scène de chargement est équipée de volants mobiles dans les directions X et Y pour contrôler le mouvement de l'échantillon. étape, de sorte que le point lumineux émis par l'équipement recouvre complètement la surface de l'échantillon de test. Dans le même temps, deux boutons sont également installés sur la scène pour ajuster la posture d'inclinaison de l'échantillon. En ajustant ces boutons, le plan de test est rendu perpendiculaire à l'axe optique.

Le système d’imagerie dispose d’un système à double caméra. L’un d’eux utilise une caméra d’imagerie optique pour former un module de mise au point ponctuelle destiné à faciliter l’ajustement de la posture de l’échantillon. En observant la position du point de retour de l'échantillon en temps réel, la posture de l'échantillon est ajustée pour garantir la précision des mesures. L'autre voie est équipée d'un capteur interférométrique à quatre ondes FIS4, formant un module de capteur interférométrique pour la détection de la forme de la surface de l'échantillon. En enregistrant des franges interférométriques à chemin commun, un retour en temps réel d'informations tridimensionnelles sur la surface de l'échantillon de test peut être obtenu. Le système à double caméra peut fonctionner simultanément.

Module logiciel professionnel

◆Équipé du logiciel « Interféromètre dynamique planaire vertical », il peut afficher et produire des images 3D en temps réel du plan de l'élément optique mesuré, des valeurs PV de sortie, des valeurs RMS et des valeurs de PUISSANCE de la surface mesurée.

◆Dans le même temps, le logiciel prend en charge l'exportation des données brutes des résultats de mesure, fournit un support de données de détection quantitative pour diverses études et permet aux utilisateurs de mener des analyses de données et des recherches à l'avenir.