Lors des essais en champ d'écoulement et en soufflerie, il est nécessaire de disposer d'équipements de détection à ultra-haute vitesse. Bojiong a présenté le capteur de front d'onde à ultra haute vitesse. Cet appareil présente une résistance aux vibrations ultra-élevée, une stabilité ultra-élevée et des capacités d'imagerie ultra-rapides, permettant des mesures de précision au niveau nanométrique sans avoir besoin d'isolation des vibrations. Il présente de faibles exigences en matière de cohérence de la source lumineuse et ne nécessite pas de déphasage. Des mesures interférométriques peuvent être réalisées à l'aide de systèmes d'imagerie ordinaires.
Nom du produit |
Capteur de front d'onde ultra rapide |
Gamme de longueurs d'onde |
400 nm ~ 1 100 nm |
Taille cible |
10,24 mm × 10,24 mm |
Résolution spatiale |
24,4 μm |
Résolution d'échantillonnage |
420 × 420 (176 400 pixels) |
Résolution de phase |
<2nmRMS |
Précision absolue |
10 nmRMS |
Plage dynamique |
132 μm (210 λ) |
Taux d'échantillonnage |
107 images par seconde |
Vitesse de traitement en temps réel |
10 Hz (pleine résolution) |
Type d'interface |
Prend en charge le traitement par lots retardé |
Dimension |
HACHER |
Poids |
56,5 mm × 43 mm × 41,5 mm |
Gamme de longueurs d'onde |
environ 120g |
◆Ultra haute résolution de 420 × 420 (176 400) points de phase
◆ Résolution de phase élevée de 2 nm RMS
◆ Fréquence d'images d'échantillonnage jusqu'à 107 ips
◆ Auto-interférence lumineuse à canal unique, aucune lumière de référence requise
◆ Bande à large spectre de 400 nm à 1 100 nm
◆ Performances anti-vibrations extrêmement fortes, pas besoin d'isolation optique des vibrations
◆Tout comme l'imagerie, construction de chemin optique simple et rapide
◆Prend en charge les faisceaux collimatés et les grands faisceaux convergés NA
Ce capteur de front d'onde ultra rapide BOJIONG est utilisé dans la détection de la rugosité de la surface des plaquettes, la mesure de la micromorphologie des substrats à base de silicium et de verre, l'optique aérodynamique, le champ d'écoulement à grande vitesse, la mesure de la densité du plasma gazeux.
détection du front d'onde du faisceau laser |
Mesure optique de la forme d'une surface plane |
Exemple de mesure de rugosité de surface de plaquette |
Exemple de mesure de graphique de front d'onde reconstruit |
Chemin optique de mesure de la densité du plasma gazeux |
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Capteur de front d'onde ultra rapide BOJIONG développé par une équipe de professeurs de l'Université du Zhejiang et de l'Université technologique de Nanyang de Singapour, avec une technologie nationale brevetée, il combine la diffraction et l'interférence pour obtenir une interférence de cisaillement transversal à quatre ondes commune, avec une sensibilité de détection supérieure et un anti-détection. -Performances de vibration, et peut réaliser une interférométrie dynamique en temps réel et à grande vitesse sans isolation vibratoire. La mesure en temps réel montre une fréquence d'images de plus de 10 images. Dans le même temps, le capteur FIS4 a une résolution de phase ultra-élevée de 512 × 512 (260 000 points de phase), la bande de mesure couvre 200 nm ~ 15 μm, la sensibilité de mesure atteint 2 nm et la répétabilité de mesure est meilleure que 1/1000λ ( RMS). Il peut être utilisé pour l'analyse de la qualité du faisceau laser, la détection du champ d'écoulement plasma, la mesure en temps réel de la distribution du champ d'écoulement à grande vitesse, l'évaluation de la qualité de l'image du système optique, la mesure du profil microscopique et l'imagerie de phase quantitative des cellules biologiques.
FIS4 Paramètres techniques de chaque série de produits |
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Produit |
FIS4-UV |
FIS4-RH |
HORLOGE FIS4 |
FIS4-HS |
Cellule FIS4 |
FIS4-NIR |
Gamme de longueurs d'onde |
200 ~ 450 nm |
400 ~ 1100 nm |
400 ~ 1100 nm |
400 ~ 1100 nm |
400 ~ 1100 nm |
900 ~ 1200 nm |
Taille cible mm² |
13,3 × 13,3 |
7,07 × 7,07 |
13,3 × 13,3 |
10,24 × 10,24 |
7,07 × 7,07 |
13,3 × 13,3 |
Résolution spatiale |
26μm |
23,6 μm |
26μm |
24,4 μm |
23,6 μm |
26μm |
Pixels de l'image |
- |
2048×2048 |
- |
- |
2048×2048 |
- |
Résolution de sortie de phase |
512×512 (262144 pixels) |
300 × 300 (90 000 pixels) |
512 × 512 (262 144 pixels) |
420 × 420 (176 400 pixels) |
300 × 300 (90 000 pixels) |
512 × 512 (262 144 pixels) |
Résolution de phase |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
Précision absolue |
10 nmRMS |
10 nmRMS |
15nmRMS |
10 nmRMS |
10 nmRMS |
15nmRMS |
Plage dynamique |
90 μm (256min) |
110 μm (150min) |
162 μm (256min) |
132μm (210min) |
110 μm (150min) |
270 μm (256min) |
Taux d'échantillonnage |
32 images par seconde |
24 images par seconde |
45 images par seconde |
107 images par seconde |
24 images par seconde |
45 images par seconde |
Vitesse de traitement en temps réel |
10Hz (Pleine résolution) |
10Hz (Pleine résolution) |
10Hz (Pleine résolution) |
10Hz (Pleine résolution) Prend en charge le traitement par lots retardé |
10Hz (Pleine résolution) |
10Hz (Pleine résolution) |
Type d'interface |
USB3.0 |
HACHER |
USB3.0 |
HACHER |
HACHER |
USB3.0 |
Interface externe |
- |
- |
- |
- |
Port C |
- |
Taille mm² |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
poids |
environ240g |
environ120g |
environ240g |
environ120g |
environ120g |
environ240g |
Adresse
No. 578 Yingkou Road, district de Yangpu, Shanghai, Chine
Tél