Avec une vitesse d'analyse du front d'onde en temps réel allant jusqu'à 107 images par seconde, le capteur interférométrique à quatre ondes ultra haute vitesse BOJIONG dépasse de loin les capacités des techniques de mesure interférométriques traditionnelles, ce qui le rend adapté aux mesures rapides dans des environnements dynamiques.
Sa plage de réponse spectrale couvre 400 à 1 100 nanomètres, ce qui lui permet de s'adapter à diverses conditions de source lumineuse et d'améliorer son applicabilité dans différents scénarios d'application. Il est désormais devenu un outil indispensable dans les domaines de l'inspection industrielle à grande vitesse, de la recherche sur les technologies de défense nationale et de la recherche scientifique de précision.
Nom du produit |
Capteur interférométrique à quatre ondes ultra rapide |
Gamme de longueurs d'onde |
400 nm ~ 1 100 nm |
Taille cible |
10,24 mm × 10,24 mm |
Résolution spatiale |
24,4 μm |
Résolution d'échantillonnage |
420 × 420 (176 400 pixels) |
Résolution de phase |
<2nmRMS |
Précision absolue |
10 nmRMS |
Plage dynamique |
132 μm (210 λ) |
Taux d'échantillonnage |
107 images par seconde |
Vitesse de traitement en temps réel |
10 Hz (pleine résolution) |
Type d'interface |
Prend en charge le traitement par lots retardé |
Dimension |
HACHER |
Poids |
56,5 mm × 43 mm × 41,5 mm |
Gamme de longueurs d'onde |
environ 120g |
◆Ultra haute résolution de 420 × 420 (176 400) points de phase
◆ Fréquence d'images d'échantillonnage jusqu'à 107 ips
◆ Auto-interférence lumineuse à canal unique, aucune lumière de référence requise
◆ Bande à large spectre de 400 nm à 1 100 nm
◆ Résolution de phase élevée RMS de 2 nm
◆ Performances anti-vibrations extrêmement fortes, pas besoin d'isolation optique des vibrations
◆Tout comme l'imagerie, construction de chemin optique simple et rapide
◆Prend en charge les faisceaux collimatés et les grands faisceaux convergés NA
Ce capteur interférométrique à quatre ondes ultra rapide BOJIONG est utilisé dans la détection de la rugosité de la surface des plaquettes, la mesure de la micromorphologie des substrats à base de silicium et de verre, l'optique aérodynamique, le champ d'écoulement à grande vitesse, la mesure de la densité du plasma gazeux.
détection du front d'onde du faisceau laser |
Mesure optique de la forme d'une surface plane |
Exemple de mesure de rugosité de surface de plaquette |
Exemple de mesure de graphique de front d'onde reconstruit |
Chemin optique de mesure de la densité du plasma gazeux |
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Capteur interférométrique à quatre ondes haute résolution BOJIONG développé par une équipe de professeurs de l'Université du Zhejiang et de l'Université technologique de Nanyang de Singapour, avec une technologie nationale brevetée, il combine la diffraction et l'interférence pour obtenir une interférence de cisaillement transversal à quatre ondes commune, avec une sensibilité de détection supérieure et Performance anti-vibration et peut réaliser une interférométrie dynamique en temps réel et à grande vitesse sans isolation vibratoire. La mesure en temps réel montre une fréquence d'images de plus de 10 images.
Dans le même temps, le capteur FIS4 a une résolution de phase ultra-élevée de 512 × 512 (260 000 points de phase), la bande de mesure couvre 200 nm ~ 15 μm, la sensibilité de mesure atteint 2 nm et la répétabilité de mesure est meilleure que 1/1000λ ( RMS). Il peut être utilisé pour l'analyse de la qualité du faisceau laser, la détection du champ d'écoulement plasma, la mesure en temps réel de la distribution du champ d'écoulement à grande vitesse, l'évaluation de la qualité de l'image du système optique, la mesure du profil microscopique et l'imagerie de phase quantitative des cellules biologiques.
FIS4 Paramètres techniques de chaque série de produits |
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Produit |
FIS4-UV |
FIS4-RH |
HORLOGE FIS4 |
FIS4-HS |
Cellule FIS4 |
FIS4-NIR |
Gamme de longueurs d'onde |
200 ~ 450 nm |
400 ~ 1100 nm |
400 ~ 1100 nm |
400 ~ 1100 nm |
400 ~ 1100 nm |
900 ~ 1200 nm |
Taille cible mm² |
13,3 × 13,3 |
7,07 × 7,07 |
13,3 × 13,3 |
10,24 × 10,24 |
7,07 × 7,07 |
13,3 × 13,3 |
Résolution spatiale |
26μm |
23,6 μm |
26μm |
24,4 μm |
23,6 μm |
26μm |
Pixels de l'image |
- |
2048×2048 |
- |
- |
2048×2048 |
- |
Résolution de sortie de phase |
512×512 (262144 pixels) |
300 × 300 (90 000 pixels) |
512 × 512 (262 144 pixels) |
420 × 420 (176 400 pixels) |
300 × 300 (90 000 pixels) |
512 × 512 (262 144 pixels) |
Résolution de phase |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
Précision absolue |
10 nmRMS |
10 nmRMS |
15nmRMS |
10 nmRMS |
10 nmRMS |
15nmRMS |
Plage dynamique |
90 μm (256min) |
110 μm (150min) |
162 μm (256min) |
132μm (210min) |
110 μm (150min) |
270 μm (256min) |
Taux d'échantillonnage |
32 images par seconde |
24 images par seconde |
45 images par seconde |
107 images par seconde |
24 images par seconde |
45 images par seconde |
Vitesse de traitement en temps réel |
10Hz (Pleine résolution) |
10Hz (Pleine résolution) |
10Hz (Pleine résolution) |
10Hz (Pleine résolution) Prend en charge le traitement par lots retardé |
10Hz (Pleine résolution) |
10Hz (Pleine résolution) |
Type d'interface |
USB3.0 |
HACHER |
USB3.0 |
HACHER |
HACHER |
USB3.0 |
Interface externe |
- |
- |
- |
- |
Port C |
- |
Taille mm² |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
poids |
environ240g |
environ120g |
environ240g |
environ120g |
environ120g |
environ240g |
Adresse
No. 578 Yingkou Road, district de Yangpu, Shanghai, Chine
Tél