Pour les grands composants de test tels que les tranches de silicium et les tranches de saphir, le détecteur de défauts de surface de composants optiques AOI1000 offre une résolution de détection allant jusqu'à 0,5 micromètre et une ouverture d'inspection maximale de 1 000 mm sur 600 mm. L'appareil est capable de générer automatiquement des rapports, avec des formats de rapport incluant la norme militaire américaine MIL-PRF-13830A/B et la norme internationale ISO 10110-7.
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nom du produit |
Détecteur de défauts de surface de composants optiques AOI1000 |
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Taille de détection maximale |
1000mmX600mm |
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Résolution de détection |
0,5 μm |
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Méthode de détection |
Imagerie par balayage en champ sombre |
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Rapports de sortie |
Normes nationales, normes militaires américaines et rapports d'entreprise personnalisés. |
Le détecteur de défauts de surface de composants optiques AOI1000 utilise la technologie de vision industrielle pour réaliser une détection automatisée, rapide et de haute précision des défauts de surface sur des composants tels que les plaquettes de silicium et les plaquettes de saphir, résolvant ainsi efficacement les problèmes de faible efficacité et de mauvaise précision de l'inspection visuelle. . La résolution de détection la plus élevée peut atteindre 0,5 micromètre et l'ouverture de détection maximale peut atteindre 1 000 mm sur 600 mm. La technologie d’imagerie comprend un éclairage annulaire et une imagerie en champ noir par microdiffusion. L'appareil est capable de générer automatiquement des rapports dans divers formats, notamment la norme militaire américaine MIL-PRF-13830A/B et la norme internationale ISO 10110-7.
Convient au contrôle qualité des défauts de surface des composants optiques, des plaquettes de fenêtre optique, des plaquettes de silicium, des plaquettes de saphir, etc.
Défauts du revêtement : délaminage, endommagement du revêtement, etc.
Défauts de polissage : rayures, piqûres, écailles, bulles, salissures, etc.
Cet équipement peut gérer les types de défauts suivants :
◆ Éclairage annulaire multifaisceaux
◆ Imagerie à grossissement variable avec options de grossissement élevé et faible
◆ Précision de détection de 0,5 μm
◆ Détection multi-wafers sur plaques entières
◆ Moteur linéaire pour une imagerie rapide
◆ Equipé d'un FFU (Fan Filter Unit) pour assurer la propreté interne
Éclairage d'imagerie annulaire multifaisceaux
Microscope à zoom automatique de 1X à 8X.
Serrage rapide réglable pour toute la plaque.
Les moteurs linéaires 2D de haute précision garantissent la précision d'une prise de vue rapide.
Sortie d'une feuille de calcul standard militaire
Affichage du résultat du test
Rayure de la surface du revêtement.
Rayures
Point de dommage laser 1
Point de dommage laser 2
Point de particules à l'échelle nanométrique
Fibre
Déliquescence des composants
dommages à la couche membranaire
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Détecteur de défauts de surface de composants optiques AOI450Détecteur de défauts de surface de composants optiques AOI1000 |
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Article |
Description |
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Modèle |
AOI1000 |
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Fonction de l'équipement |
Détection quantitative des défauts pour les composants optiques planaires à surface ultra-lisse et production de rapports électroniques selon les résultats de détection tels que la norme militaire américaine, la norme nationale et la norme internationale. |
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Taille maximale de détection |
1000mmX600mm |
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Précision de détection |
Faible grossissement 5 μm, fort grossissement 0,5 μm |
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Méthode de serrage |
Serrage de plaque entière ou serrage d'une seule pièce, prenant en charge le serrage de pièces carrées et rondes. |
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Méthode de nivellement |
Mise au point automatique assistée par matériau de plaque entière, nivellement électrique. |
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Méthode d'imagerie |
Éclairage annulaire, imagerie par micro-diffusion en champ sombre, conformément à la « Méthode de détection quantitative des défauts de surface des composants optiques — Méthode d'imagerie en champ sombre par micro-diffusion » décrite dans la norme nationale GB/T 41805-2022. |
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Méthode de détection |
Couture de numérisation à faible grossissement, quantification de positionnement à fort grossissement. |
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Mécanisme de numérisation |
Moteur linéaire 2D, course 150 mm × 150 mm. |
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Paramètres de la caméra |
Grande caméra cible, 5 millions de pixels. |
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Format du rapport |
Excel, format Word, norme militaire américaine, norme nationale, norme internationale ou rapport statistique d'entreprise. |
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Configuration PC industrielle |
Processeur i7, mémoire 32 Go, disque dur 1 To, mémoire vidéo 6 Go. |
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Dimensions de l'équipement |
900 mm × 800 mm × 2 000 mm (L × l × H) |
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Tension d'alimentation |
220V ± 10% |
Adresse
No. 578 Yingkou Road, district de Yangpu, Shanghai, Chine
Tél
